洁净室的无论在外部---条件下,
其可以全部具有室维持原设定的洁净度要求,无尘车间洁净室,温度,湿度和压力的性能特性的变化。洁净室的主要作用是控制所述植物材料(如硅芯片等)的温度和洁净空气的湿度以与气体的接触生存,所以该植物原料可以在工厂,制造,洁净室的空间中一个---的环境也是我们所说的洁净室。净化车间静电式净化方式的缺点:可去除飘尘(不能去除气体),效能比机械式低,洁净室,慢,而且易产生臭氧,此机型被美国市场评为差净化器。负离子法 ---负离子与空气中漂浮的有害气体接触后,能还原来自---的污染物质、氮氧化物、等产生的活性氧(氧自由基)、减少过多活性氧对人体的危害;中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降。
洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。
对装饰材料应严格按有关工程技术标准、施工验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,实验室洁净室,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,净化洁净室,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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