洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，净化洁净室，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，安徽洁净室，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，十万级洁净室，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求；
(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度。
(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。
洁净车间相比普通车间的优势
隔热保温，保湿性能好，普通车间只要能符合产品生产加工的要求就可以，在结构设计上没有---严格的要求。板材用料方面，也没有洁净车间的严谨。洁净车间搭建的用料十分讲究，无尘车间洁净室，既要有---的隔热保温功能，也可以保持湿度。
人员污染控制不同，洁净车间有较大的特点就是洁污分流，人员和物品都是---通道，避免产生交叉污染。除此之后还要进行吹淋，将附着在人员、物品的污染物排除掉，避免将污染物带到洁净区，影响空气净化工程的净化效果。
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